CL譜的激發源是高能電(dian)(dian)(dian)子束(shu)；CL能調節(jie)入(ru)射電(dian)(dian)(dian)子的能量，可以(yi)使電(dian)(dian)(dian)子進入(ru)到(dao)樣(yang)品的不同深度，從(cong)而觀測到(dao)樣(yang)品表面以(yi)下的晶體缺陷信(xin)息。缺點是表面很容易被電(dian)(dian)(dian)子破壞。
一些不導(dao)(dao)電(dian)礦物樣(yang)品(pin)，在(zai)高(gao)能(neng)(neng)(neng)電(dian)子(zi)(zi)作用(yong)下，發(fa)(fa)射的可(ke)見光(guang)(guang)信號(hao)，叫(jiao)做陰極(ji)熒(ying)光(guang)(guang)。它是由(you)這些物質的價電(dian)子(zi)(zi)，在(zai)受激(ji)(ji)態(tai)與基態(tai)之間能(neng)(neng)(neng)級躍遷直(zhi)接釋放(fang)(fang)波(bo)長(chang)(chang)比較(jiao)長(chang)(chang)、能(neng)(neng)(neng)量(liang)(liang)比較(jiao)低的波(bo)，其能(neng)(neng)(neng)量(liang)(liang)在(zai)幾至幾十個(ge)電(dian)子(zi)(zi)狀(zhuang)，波(bo)長(chang)(chang)在(zai)可(ke)見光(guang)(guang)波(bo)長(chang)(chang)范圍(wei)內。陰極(ji)熒(ying)光(guang)(guang)譜是利(li)用(yong)電(dian)子(zi)(zi)束激(ji)(ji)發(fa)(fa)半(ban)導(dao)(dao)體樣(yang)品(pin)，將(jiang)價帶(dai)電(dian)子(zi)(zi)激(ji)(ji)發(fa)(fa)到導(dao)(dao)帶(dai)，之后(hou)由(you)于導(dao)(dao)帶(dai)能(neng)(neng)(neng)量(liang)(liang)高(gao)不穩定，被激(ji)(ji)發(fa)(fa)電(dian)子(zi)(zi)又重新(xin)跳回(hui)價帶(dai)，并釋放(fang)(fang)出能(neng)(neng)(neng)量(liang)(liang)E≤Eg（能(neng)(neng)(neng)隙(xi)）的特征熒(ying)光(guang)(guang)譜。
陰極(ji)(ji)熒光(guang)譜(pu)取(qu)決(jue)于發光(guang)物(wu)(wu)質(包(bao)括主體物(wu)(wu)質和雜質)的價電子能級分(fen)布。因此，它(ta)可用來測定一些(xie)礦(kuang)物(wu)(wu)的陰極(ji)(ji)熒光(guang)特點，是一種礦(kuang)物(wu)(wu)鑒定方法。
