特殊XPS測試

型號：PHI-5000versaprobeIII、Thermo Scientific ESCALAB 250Xi、Thermo Scientific Nexsa等測(ce)試項(xiang)目：

XPS測試注意事項

1. XPS可以做的項目：常規全譜窄譜測試，俄歇譜，價帶譜，深度濺射，MAPPING,角分辨

2. XPS測試(shi)的(de)元(yuan)素范圍是(shi)Li-Cm, H,He元(yuan)素不能測試(shi)

3. XPS數(shu)據(ju)分析可(ke)以等(deng)到元素(su)的價態及(ji)半(ban)定量數(shu)據(ju)。原子百分含量小(xiao)于5%的元素(su)可(ke)能(neng)測不出明(ming)顯(xian)信號。

4. 無特殊說明(ming)，默(mo)認是使(shi)用(yong)單(dan)色化AlKa源（Mono AlKa）能量是1486.6eV

5. 使用Al Kα X-ray會出現(xian)的(de)(de)重(zhong)(zhong)疊譜(pu)峰(feng)，當有(you)重(zhong)(zhong)疊譜(pu)峰(feng)的(de)(de)時候直接定(ding)(ding)量的(de)(de)結果不能參考。下方是常見的(de)(de)一(yi)些重(zhong)(zhong)疊譜(pu)峰(feng)的(de)(de)情況，解決方法是a.通過分峰(feng)擬合（這個是數據分析的(de)(de)內容）后(hou)再重(zhong)(zhong)新定(ding)(ding)量，b.測試其他(ta)軌道的(de)(de)峰(feng)，需要備注(zhu)相應(ying)的(de)(de)軌道，默認(ren)是測試最強峰(feng)，c.如果是與部(bu)分元素的(de)(de)俄歇峰(feng)重(zhong)(zhong)疊，建議可以更換靶材試試，比如Mg靶。

常見重疊譜峰有Li1s&Co3p；B1s&P2s；C1s&Ru3d5/2,Ru3d3/2；C1s&K2p；O1s&NaKLL；O1s&Pd3p3/2；O1s&Sb3d5/2；N1s&Mo3p3/2；N1s&GaLMM；Al2p&Pt4f5/2；Si2p&Pt5s；Mo3d5/2&S2s；Ta4f&O2s；Co2p&FeLMM；Mn2p&NiLMM；W4f&Zr4p；Al2p&Cu3p。

6.xps測試數據(ju)提供原始(shi)數據(ju)，不(bu)(bu)做任何矯(jiao)正(zheng)，不(bu)(bu)同材料的矯(jiao)正(zheng)方法不(bu)(bu)同，可(ke)以提供矯(jiao)正(zheng)操作的視(shi)頻，鏈接

//shiyanjia-reports.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/%E9%97%BB%E5%B0%8F%E7%90%B4/TXT%E6%95%B0%E6%8D%AE%E7%9F%AB%E6%AD%A3%E6%96%B9%E6%B3%95.rar。

樣品要求：

塊狀、薄(bo)膜樣品：塊體/薄(bo)膜樣品尺寸大于(yu)5*5*3mm小(xiao)于(yu)直徑60mm*8mm

特殊(shu)液體樣品（離子(zi)液體）可直(zhi)接進樣，大部(bu)分液體滴涂基體表面干燥后測試,，同樣尺(chi)寸大于5*5*3mm

常(chang)見問題及回答：結果展示(shi)：

250xi 是相對常用的設備，其結果如(ru)下：

測試結果給(gei)出的(de)是VGD格(ge)式(shi)和excel格(ge)式(shi)測試結果。Excel格(ge)式(shi)文件(jian)(jian)用origin軟件(jian)(jian)作圖(tu)；VGD格(ge)式(shi)文件(jian)(jian)可(ke)以用AVANTAGE分析(xi)軟件(jian)(jian)打開(kai)。

PHI的格式如下(xia)：

測試(shi)結果(guo)給出的是原始文(wen)(wen)件(jian)SPE格(ge)式和excel格(ge)式。Excel格(ge)式文(wen)(wen)件(jian)用origin軟件(jian)作圖；SPE格(ge)式需(xu)(xu)要軟件(jian)Multipak或者CasaXPS打開（但定(ding)量需(xu)(xu)要注意靈敏度因(yin)子(zi)）。