納米壓痕儀主要用于測量納米尺度的硬度與彈性模量,可(ke)(ke)以用于研究或測試(shi)薄(bo)膜(mo)等(deng)納米(mi)材料(liao)的接觸剛度、蠕(ru)變(bian)、彈性(xing)(xing)(xing)功、塑性(xing)(xing)(xing)功、斷裂韌性(xing)(xing)(xing)、疲勞、存儲(chu)模量(liang)及(ji)損耗模量(liang)等(deng)特性(xing)(xing)(xing)。可(ke)(ke)適用于有機(ji)或無(wu)機(ji)、軟質或硬質材料(liao)的檢測分析,包括(kuo)PVD、CVD、PECVD薄(bo)膜(mo),感光薄(bo)膜(mo),彩繪釉漆,光學薄(bo)膜(mo),微電子鍍膜(mo),保護性(xing)(xing)(xing)薄(bo)膜(mo),裝飾(shi)性(xing)(xing)(xing)薄(bo)膜(mo)等(deng)等(deng)。基體可(ke)(ke)以為軟質或硬質材料(liao),包括(kuo)金屬、合金、半(ban)導體、玻璃、礦物和有機(ji)材料(liao)等(deng)。
劃痕法通過使用(yong)不同(tong)的傳感(gan)器(聲(sheng)發射、劃痕位移、摩擦力)和視頻顯微鏡觀察(cha)獲得臨界載荷數(shu)據(ju)來量(liang)化不同(tong)的膜 - 基材組合(he)的結合(he)性能。