X-射線照射到晶體上發生相(xiang)干散射（存在位相(xiang)關系）的(de)(de)物(wu)理(li)現象叫衍射，即使發生在低角(jiao)度(du)(du)也是衍射。例(li)如，某相(xiang)的(de)(de)d值(zhi)為(wei) 31.5?，相(xiang)應衍射為(wei)2.80°（Cu-Kα），如果(guo)該相(xiang)有很(hen)高(gao)的(de)(de)結(jie)晶度(du)(du)，31.5?峰還是十分(fen)尖銳的(de)(de)。薄膜(mo)(mo)也能產生取決(jue)于薄膜(mo)(mo)厚度(du)(du)與薄膜(mo)(mo)微觀結(jie)構的(de)(de)、集中在小(xiao)角(jiao)范圍內的(de)(de) X 射線衍射。在這(zhe)些(xie)情況下，樣(yang)品(pin)的(de)(de)小(xiao)角(jiao)X射線散射強(qiang)度(du)(du)主要(yao)來(lai)自(zi)樣(yang)品(pin)的(de)(de)衍射，稱之為(wei)角(jiao)X射線衍射。
X-射(she)線照射(she)到超(chao)(chao)細粉(fen)末顆粒(li)（粒(li)徑小(xiao)于幾百埃，不(bu)管其是晶(jing)(jing)體還是非晶(jing)(jing)體）也會發生(sheng)相(xiang)干散射(she)現(xian)象，也發生(sheng)在低(di)角(jiao)度區。但是由微細顆粒(li)產(chan)生(sheng)的(de)(de)相(xiang)干散射(she)圖的(de)(de)特征與上述的(de)(de)由超(chao)(chao)大晶(jing)(jing)面間距或薄膜產(chan)生(sheng)的(de)(de)小(xiao)角(jiao) X 射(she)線衍射(she)圖的(de)(de)特征完(wan)全(quan)不(bu)同。
